快速退火炉设备运行监测数据集已成功在江苏数据知识产权登记系统进行登记，应用在半导体制造、设备监控领域

扬州韩思半导体科技有限公司 本次登记的数据知识产权 快速退火炉设备运行监测数据集, 该数据集记录RTP设备运行中的关键参数（温度、时间、热量消耗等）、设备状态日志及工艺结果。通过时序分析，可追溯工艺偏差根源，保障半导体制造稳定性，主要包含了Start Time开始时间、End Time结束时间、LotID批次、Recipe ID配方编号、Heat Budget热预算、WaferID晶圆、WaferID晶圆、Ending结束、Log_Path日志路径、MaxTemp最高温度、ShiftTemp工艺段温度。

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登记内容：

关于 扬州韩思半导体科技有限公司 , 扬州韩思半导体科技有限公司是一家专注于半导体领域的高新技术企业，致力于半导体材料的研发、生产和销售。该公司业务范围涵盖集成电路、光电显示等多个领域。

关于 江苏数据知识产权登记系统 , 江苏数据知识产权登记系统是一个专门用于数据知识产权登记和信息公开的平台，旨在为数据所有者提供知识产权的保护和登记服务。