半导体行业高精度仪表控制数据集已成功在上海市数据产品知识产权管理平台进行登记，应用在半导体制造、预测性维护领域

上海金子自动化仪表有限公司本次登记的数据知识产权半导体行业高精度仪表控制数据集,该数据集以 XLSX 表格格式存储，采用二维关系型结构组织，包含以下字段：记录编号（文本型，记录唯一标识）、设备编号（文本型，设备唯一标识）、设备类型（文本型，分类属性，涵盖电磁阀/氮封阀/紧急泄放阀/阻火器/呼吸阀）、传感器编号（文本型，传感器标识）、采集时间（日期时间型，时序索引）、原始压力值(kPa)（数值型，工况参数）、原始流量值(L/min)（数值型，工况参数）、漂移指数（数值型，加工衍生指标）、能效评分（数值型，加工衍生指标）、应力因子（数值型，加工衍生指标）、预测风险等级（文本型，低/中/高）、剩余寿命百分比(%)（数值型，寿命预测指标）、异常告警标识（文本型，是否异常）、建议维保剩余小时数（数值型，决策支持指标）。以“设备编号”与“采集时间”组合作为主关键字段，确保每条记录唯一可溯，支持按设备类型、传感器、时间维度高效检索与分析。

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