新铂等离子碳包覆装置多参数监测与工艺优化数据已成功在广东省数据知识产权存证登记平台进行登记，应用在真空镀膜、智能制造领域

新铂科技（东莞）有限公司本次登记的数据知识产权新铂等离子碳包覆装置多参数监测与工艺优化数据,本数据集为新铂科技（东莞）有限公司自主采集的等离子碳包覆装置运行数据，包含装置内3个区域的温度、腔室压力、气体流量、调节阀开度、加热功率等核心参数，以及控制策略和异常状态记录。数据反映了等离子碳包覆工艺中多参数的动态关联，可用于工艺优化、设备状态诊断及控制算法验证，为真空镀膜领域的智能制造提供数据支撑。

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