红外像元的光吸收率与结构关系数据已成功在上海市数据产品知识产权管理平台进行登记，应用在红外光谱、半导体工艺领域

中国科学院上海技术物理研究所本次登记的数据知识产权红外像元的光吸收率与结构关系数据,数据体系：所有文件均遵循 NXentry 根组下包含 NXdata 数据子组的结构，通过 signal 和 axes 属性定义数据映射，确保兼容性。 核心数据存储于 entry/data 组下，整合了单片焦平面阵列 81,920 个像元的测量数据。关键字段 derivative 存储归一化并对波长求导后的吸收率(Y轴)，wavelength 字段存储波长(X轴)。此外，包含 x_pixel、y_pixel 及 pixel_id 字段用于空间回溯。核心数据为红外像元微观光谱指纹。 数据涵盖单片焦平面阵列上的 81,920 个独立像元。针对每个像元，记录了其在 705 个波长点下的吸收率。 数据字段 derivative 记录了经归一化及微分变换后的光谱形态特征，该特征消除了绝对强度差异，专注于波形变化；字段 pixel_id 与 fpa_id 构建了从微观光谱数据到宏观物理器件的唯一映射关系。本数据产品为半导体工艺的非均匀性分析提供了底层的物理描述符。

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关于中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所是中国科学院下属的综合性科研机构，专注于红外光电技术、空间遥感技术及光电系统工程等领域的研究与应用。该所长期承担国家重大科技项目，为我国航天、国防和民用领域提供了多项关键技术支撑。

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