外延加热功率效率数据完成浙江省数据知识产权登记 破解半导体制造能效量化痛点

当前，半导体制造正朝着高精度、低能耗的方向迭代，外延工艺作为决定晶圆性能的核心工序，其核心生产设备外延炉的加热系统能耗可占到外延生产总能耗的60%以上。长期以来，行业缺乏统一的加热效率量化标准，不同厂商、不同型号设备的能效难以横向对标，热场优化、设备选型也缺乏可复用的量化依据，成为制约半导体制造降本增效的共性痛点。作为国内率先落地的数据知识产权公共服务载体，浙江省数据知识产权登记平台承担着数据权属存证、流通合规审核、知识产权保护等核心职能，是浙江省推进数据要素市场化配置改革的核心基础设施之一。2026年10月31日，杭州电子科技大学平湖数字技术创新研究院有限公司与中电晶华（天津）半导体材料有限公司联合申报的外延加热功率效率数据，正式在该平台完成知识产权登记，为半导体工业数据的合规流通与价值释放提供了全新样本。

本次登记的数据集适用边界清晰，仅面向配备全自动外延工艺设备、具备加热功率与生长温度记录能力的半导体外延生产与使用企业开放，覆盖半导体外延片生产企业、半导体材料制造企业、加热系统供应商等机构，可服务于外延工艺工程师、设备工程师、能源管理人员、热场设计人员、行业研究人员等多类群体，针对性解决三大行业共性问题：一是破解加热效率缺乏统一度量的痛点，以温度与功率的比值刻画单位功率的温升效果，实现不同设备加热效率的横向比较；二是解决功率负荷难以量化的问题，以功率占最大值的比例反映设备负荷水平；三是弥补温度达标监测不足的短板，为外延工艺温度达标情况提供量化指标。

从数据生产链路来看，该数据集的原始数据来源于中电晶华企业生产数据报表管理系统，由全自动外延工艺设备在运行过程中自动采集，所有数据均在业务经营过程中依法依规获取，原始数据包含记录时间、加热功率Power、生长温度Temperature_Real_Value、温度设定值Temperature_Set_Value等核心字段，加工前已统一数值格式并剔除缺失记录，保障了数据的真实性与可靠性。其数据处理规则经过多轮行业专家论证：首先逐行计算温度功率比，功率为0时温度功率比记为0；其次统计全体记录的加热功率最大值，逐行计算功率负荷率；再通过实测温度与设定值的差值计算温度达标率；最终结合温度达标率（权重60%，基于温度达标对加热效率的直接代表性设定）与功率负荷率（权重40%）计算加热效率指数，并按指数高低划分为高效（≥0.95）、良好（0.90≤加热效率指数<0.95）、一般（<0.90）三个等级，所有计算结果均保留2位小数，最终形成包含10个核心字段的标准化数据集。

该数据集口径统一、通用性强，且严格遵循数据安全相关规范，不涉及任何个人信息，具备极高的流通应用价值：在企业生产端，可作为外延企业横向对比设备加热能耗的基准数据，帮助企业挖掘能效提升空间，降低生产用电成本；在设备供给端，可为加热系统供应商评估功率配置、优化热场设计提供量化依据，提升设备产品的市场竞争力；在行业研究端，可为科研机构分析外延炉加热效率特征、制定行业能效标准提供基础数据支撑；在设备选型环节，也可为企业采购设备提供标准化的加热效率评价指标。本次数据知识产权登记完成后，该数据集的权属得到官方存证认可，既为后续的授权使用、流通交易提供了合规基础，也为高端制造领域的工业数据知识产权保护、数据资产化探索提供了可复制的参考路径。

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登记内容：